Пленки нитридов

А. А. Козин, А. В. Кочин, А. В. Рудаков, В. И. Шаповалов, Д. С. Шестаков

Выполнен анализ публикаций, посвященных пленкам нитридов переходных металлов, твердым растворам и гетероструктурам на их основе. Описаны свойства пленок и пленочных структур, привлекающих наибольшее внимание специалистов. Указаны области их применения.

Издание предназначено научным работникам и инженерам, чья работа связана с осаждением пленок, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.