Исследование нано- и микросенсоров

А. В. Афанасьев, В. П. Афанасьев, Е. А. Степанов; под ред. В. П. Афанасьева и А. В. Афанасьева.

Дано краткое описание физических эффектов и принципов работы нано- и микросенсоров различного назначения; рассмотрены методика и порядок проведения лабораторных работ, обработка экспериментальных результатов.

Предназначены для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению «Электроника и микроэлектроника» и изучающих дисциплину «Нано- и микросенсорика».