Введение в приборно-технологическое моделирование устройств микро- электроники

Перепеловский В. В., Михайлов Н. И., Марочкин В. В.

Изложены основные сведения, необходимые для развития у студентов навыков выполнения лабораторных работ с применением пакета программ Synopsys^® Sentaurus TCAD. Пакет программ Synopsys^® Sentaurus TCAD предоставляет широкие возможности для создания структур полупроводниковых устройств, а также расчета их физических характеристик и обработки результатов моделирования. Это позволяет глубже изучить теоретический материал и выработать практические навыки моделирования основных характеристик приборов микроэлектроники.

Предназначен для студентов, обучающихся по дисциплинам «Компьютерные технологии в науке и производстве», «Компьютерные технологии в разработке электронных устройств» и по направлению «Электроника и микроэлектроника» по магистерским программам «Физическая электроника» и «Микроволновая и телекоммуникационная электроника».