Наши издания

Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов

Кривошеева, А. Н., Лучинин, В. В.

Рассмотрены физико-химические основы процессов очистки, травления и полирования полупроводниковых монокристаллических подложек кремния и соединений AIIIBV. Дано представление о способах жидкостной химической обработки в технологии интегральных схем и микросистемной техники.

Предназначено для студентов и аспирантов, специализирующихся в области технологии микроэлектроники и микросистемной техники.

ISBN 978-5-7629-1199-3

УДК 621.382(075)

ББК З 844.1-06я7