Наши издания
Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материаловРассмотрены физико-химические основы процессов очистки, травления и полирования полупроводниковых монокристаллических подложек кремния и соединений AIIIBV. Дано представление о способах жидкостной химической обработки в технологии интегральных схем и микросистемной техники. Предназначено для студентов и аспирантов, специализирующихся в области технологии микроэлектроники и микросистемной техники. |
ISBN 978-5-7629-1199-3 УДК 621.382(075) ББК З 844.1-06я7 |