Процессы микро- и нанотехнологий

Сост.: П. Ю. Белявский, С. Ф. Карманенко, А. А. Никитин, А. А. Семенов, А. В. Тумаркин

Рассмотрены основные этапы выполнения лабораторных работ по курсу «Процессы микро- и нанотехнологий». Приводится краткое описание физических моделей, лежащих в основе различных технологических режимов напыления и осаждения металлических и диэлектрических пленок, а так же процессов ионного и химического травления.

Приведена методика расчета технологических процессов режимов осаждения пленок, на основе которых составляются рекомендации для реальных технологических процессов. Содержатся необходимые справочные сведения и характеристики элементов для выполнения расчетов.