Расчет газотранспортных и диффузионных процессов в технологии электронных приборов

Cост.: С. П. Зубко, Н. Ю. Медведева, А. А. Никитин, А. А. Семенов

Три части методических указаний содержат:

1) методику термодинамического анализа процесса обработки оксидных катодов и окисляемости металлов, входящих в состав основания катода;

2) термодинамические расчеты газотранспортных процессов осаждения слоев металлов и полупроводниковых материалов;

3) методику расчета диффузионных процессов при двухстадийном легировании полупроводиковых материалов и формировании p-n-переходов.

Предназначены для студентов дневного отделения, обучающихся по направлению 210100.62 «Электроника и наноэлектроника».