Моделирование процессов в вакууме и плазме

Лисенков А. А., Павленко Т. С., Трифонов С. А.

Содержит описания лабораторных работ по курсу «Моделирование процессов в вакууме и плазме». Рассматриваются особенности возникновения и существования тлеющего разряда, свойства газового разряда, элементарные процессы, протекающие в плазме, и движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100.68 «Электроника и наноэлектроника» по профилю 62 «Электронные приборы и устройства».