Прикладная физика плазмы

Лисенков А. А., Павленко Т. С., Марцынюков С. А.

Является учебно-методическим пособием по курсу «Прикладная физика плазмы». Рассматриваются вопросы, относящиеся к элементарным процессам в плазме и ее свойствам, показаны возможности применения плазменных технологий, термодинамика и кинетика плазмохимических процессов.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100.68 «Электроника и наноэлектроника». Может быть полезно инженерно-техническим работникам этой области знаний.