Специальные вопросы технологии производства интегральных микросхем

Александров О. В.

Содержит комплекс учебно-методических материалов для подготовки к лекционным, практическим, лабораторным занятиям и самостоятельной работе по дисциплине «Специальные вопросы технологии производства интегральных микросхем». Может быть использовано при изучении дисциплины «Технологические особенности производства ИМС», при выполнении междисциплинарного курсового проекта, в ходе производственной и преддипломной практик, а также при подготовке выпускной квалификационной работы.

Предназначено для обучающихся в бакалавриате по направлению 11.03.04. «Электроника и наноэлектроника».