Плазменная электроника

Лисенков А. А.

Содержит материалы по подготовке и проведению лабораторных работ по курсу «Вакуумная и плазменная электроника». Рассматриваются особенности физических процессов в плазме газового разряда.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» по программе «Электронные приборы и устройства».