Микроэлектронные датчики физических величин

Смирнов А. Д.

Содержит комплекс учебно-методических материалов для подготовки к лекционным, практическим и лабораторным занятиям по дисциплине «Микроэлектронные датчики физических величин».

Предназначено для студентов бакалавриата по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».