Наши издания

Расчет газотранспортных и диффузионных процессов в технологии изделий электроники и наноэлектроники

С. П. Зубко, Н. Ю. Медведева, А. А. Никитин, А. А. Семенов

Рассматривает методику термодинамического анализа процесса обработки оксидных катодов и окисляемости металлов, входящих в состав основания катода; термодинамические расчеты газотранспортных процессов осаждения слоев металлов и полупроводниковых материалов; методику расчета диффузионных процессов при двухстадийном легировании полупроводниковых материалов и формировании p-n-переходов.

Предназначено для подготовки бакалавров в рамках дисциплины «Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники», обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

ISBN 978-5-7629-2656-0

УДК 621.389(07)

ББК З85-0697