Наши издания
Расчет газотранспортных и диффузионных процессов в технологии изделий электроники и наноэлектроникиС. П. Зубко, Н. Ю. Медведева, А. А. Никитин, А. А. Семенов Рассматривает методику термодинамического анализа процесса обработки оксидных катодов и окисляемости металлов, входящих в состав основания катода; термодинамические расчеты газотранспортных процессов осаждения слоев металлов и полупроводниковых материалов; методику расчета диффузионных процессов при двухстадийном легировании полупроводниковых материалов и формировании p-n-переходов. Предназначено для подготовки бакалавров в рамках дисциплины «Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники», обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». |
ISBN 978-5-7629-2656-0 УДК 621.389(07) ББК З85-0697 |