Наши издания

Технология материалов микросистемной техники

Александрова О. А., Мараева Е. В.

Рассмотрены основные вопросы и типичные задачи, необходимые для выполнения курсовой работы по дисциплине «Технология материалов микросистемной техники».

Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» (профиль «Проектирование и технология микро- и наносистем»).

ISBN 978-5-7629-2634-8

УДК 621.3.049.76.002.3(07)

ББК З 844.1-03-06я7