Моделирование технологических процессов в микроэлектронике

Александров О. В., Дусь А. И.

Содержат комплекс учебно-методических материалов для подготовки к лекционным и практическим занятиям по дисциплине «Моделирование технологических процессов в микроэлектронике».

Предназначено для обучающихся в магистратуре по направлению 11.04.04 — «Электроника и наноэлектроника».