Наши издания

Диагностика материалов методами сканирующей зондовой микроскопии

О. А. Александрова, П. А. Алексеев, И. Е. Кононова, А. И. Максимов, Е. В. Мараева, В. А. Мошников, Е. Н. Муратова, С. С. Налимова, Н. В. Пермяков, Ю. М. Спивак, А. Н. Титков

Содержит систематизированные и оформленные в виде лабораторных работ оригинальные методики сканирующей зондовой микроскопии, разработанные на кафедре микро- и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и в лаборатории оптики поверхности ФТИ им. А. Ф. Иоффе РАН.

Предназначено магистрантам направления 210100.68 «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа 210161.68 «Нанотехнология и диагностика» (при изучении дисциплин: «Материаловедение микро- и наносистем», «Наноматериалы», «Зондовые и пучковые нанотехнологии», «Технология пористых материалов», «Нанотехнологии в альтернативной энергетике»), а также студентам бакалавриата направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микро- системная техника».

ISBN 978-5-7629-1243-3

УДК 620.187.539.25+621.15.5(075)

ББК В 338.4я7