Термодинамические основы технологии

Комлев А. Е., Шаповалов В. И.

Изложен материал лекционного курса «Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники».

Предназначено студентам бакалавриата по направлению подготовки 210100. Может быть полезно магистрантам при обучении по инновационным программам специализации «Информационно-телекоммуникационные устройства и электроника», профилям «Микроволновая и телекоммуникационная электроника» и «Вакуумные и плазменные технологии электронной компонентной базы» для углубленного изучения технологии изделий электроники.