Методы диагностики структур наноэлектроники и фотоники

Зубков В. И., Кучерова О. В., Зубкова А. В.

Содержит описание теоретических основ и практической реализации современных экспериментальных методов исследования наноматериалов и структур. Знакомит студентов с последними достижениями в экспериментальной диагностике наноразмерных структур.

Предназначено для магистрантов по направлениям 11.04.04 — «Электроника и наноэлектроника» и 28.03.01 — «Нанотехнологии и микросистемная техника». Будет полезно для аспирантов и научных сотрудников, занимающихся экспериментом в области физики полупроводников, нано- и оптоэлектроники.