Технология материалов микроэлектроники: от минерального сырья к монокристаллу

Д. Д. Авров, О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева, Ю. М. Таиров, А. Ю. Фадеев

Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Представлен комплекс лабораторно-практических занятий, основанный на моделировании процессов выращивания однородно легированных кристаллов и оценке влияния режимов роста на их электрофизические свойства. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов.

Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» по дисциплинам «Технология материалов и элементов электронной техники» и «Технология материалов микросистемной техники».