Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники

Максимов А. И., Александрова О. А., Мараева Е. В.

Рассмотрены физико-химические аспекты технологии материалов и изделий электроники и наноэлектроники, основы термодинамики дефектов в полупроводниковых материалах и теории адсорбции. Детально изложены некоторые разделы термодинамики химических и фазовых равновесий, которые служат основой технологии получения материалов и структур электронной техники с заданными составом и свойствами.

Предназначено для проведения занятий и выполнения курсовой работы по дисциплине «Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники» для студентов, обучающихся по направлениям 11.03.04 «Электроника и Наноэлектроника» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», а также для магистрантов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области твердотельной электроники.