Наши издания

Технология материалов микроэлектроники

Д. Д. Авров, О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева

Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике.

Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности.

Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Технология материалов и элементов электронной техники».

ISBN 978-5-7629-2608-9

УДК 621.3.049.76.002.3(07)

ББК З 844.1-03я7