Функциональные узлы и устройства микроэлектроники

Тупицын А. Д.

Содержит сведения об устройстве, принципах действия и основных параметрах функциональных узлов микроэлектронных устройств. Приводятся описания восьми лабораторных работ. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника».