Методы диагностики эпитаксиальных структур: рентгеновский микроанализ, рентгеновская дифрактометрия, фотолюминесценция

Гагис Г. С., Васильев В. И.

Представлены лабораторные работы по диагностике эпитаксиальных структур для дисциплины «Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники».

Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлению 10.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также может быть полезно магистрам и аспирантам этого направления при прохождении практики и подготовке дипломных работ.