Физические основы и методы неразрушающего контроля полупроводников

Когновицкая Е. А., Кузнецов В. В.

Посвящено физическим основам и методам неразрушающего контроля полупроводниковых материалов.

Представлены методы измерения химического состава и определения кристаллографической структуры полупроводников, а также различные способы исследования морфологии поверхности с использованием возможностей оптической, рентгеновской и электронной микроскопии.

Предназначено для студентов инженерно-физических и химико-технологических специальностей, в том числе обучающихся по направлению 10.03.04 «Электроника и наноэлектроника», также может быть полезно инженерно-техническим работникам этой сферы деятельности.