Исследование нано- и микросенсоров

А. В. Афанасьев, В. П. Афанасьев, А. П. Бройко, А. В. Корляков, И. К. Хмельницкий

Дано краткое описание физических эффектов и принципов работы нано- и микросенсоров различного назначения; рассмотрены методика и порядок проведения лабораторных работ, обработка экспериментальных результатов.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнологии и микросистемная техника» и изучающих дисциплины «Нано- и микросенсорика», «Конструкторско-технологические основы гибкой органической электроники», «Компоненты микро- и наносистем».