Проектирование элементов микро- и наносистем

Корляков А. В.

Рассматриваются методы расчета и проектирования элементов нано- и микросистемной техники. Для анализа и проектирования микросистем используется метод аналогий и аналитических оценок с учетом размерных эффектов. Рассмотрены основные подходы к расчету различных микромеханических, тепловых и акустических микросистем.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника», «Электроника и наноэлектроника», выполняющих курсовое проектирование, аспирантов, ориентированных на разработку элементов нано- и микросистемной техники.