Газоразрядная плазма: физика и применение

Авторы: А. С. Киселев, Д. К. Кострин, А. А. Лисенков, С. А. Марцынюков, Е. А. Смирнов, В. В. Черниговский.

Приведены основные сведения и представлены основные физические процессы, протекающие в газоразрядной плазме. В основу издания положены материалы лекционных курсов по дисциплинам «Вакуумная и плазменная электроника», «Прикладная физика плазмы», «Квантовые и оптоэлектронные приборы и устройства», читаемых студентам бакалавриата и магистрантам, обучающимся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», по программе 210153.68 «Электронные приборы и устройства». Данные материалы необходимы для изучения процессов и характеристик газового разряда, а также приборов и технологических устройств, изготовленных на его основе.

Издание предназначено для подготовки дипломированных специалистов и магистров физико-технических факультетов вузов, аспирантов и научных работников, специализирующихся в области низкотемпературной плазмы и ионно-плазменной технологии.

Санкт-Петербург 2018 г.