Процессы микро- и нанотехнологий в производстве устройств электроники и радиофотоники

П. Ю. Белявский, А. А. Никитин, А. А. Семенов, И. Л. Мыльников, А. В. Тумаркин

Приводится описание физических моделей, лежащих в основе различ-ных технологических режимов формирования металлических и диэлектри-ческих пленок, а также процессов ионного и химического травления. Рассмотрены основные этапы выполнения лабораторных работ по курсу «Процессы микро- и нанотехнологий». Приведена методика расчета технологических процессов режимов осаждения пленок, на основе которых составляются рекомендации для ре-альных технологических процессов. Содержатся необходимые справочные сведения для выполнения расчетов. Предназначено для подготовки магистров по образовательным про-граммам «Физическая электроника» и «Радиотехника» по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника»; может быть полезно аспиран-там и научным работникам, специализирующимся в области ионно-плазменной технологии устройств электротехники и радиофотоники.

ISBN 978-5-7629-2285-2

УДК 621.3.049.77(07)

ББК З 844.1–06я7