Наши издания

Компьютерные технологии в разработке устройств радиофотоники

В. В. Витько, В. В. Перепеловский, Н. И. Михайлов, А. А. Семенов

Изложены основные сведения, необходимые студентам для выполнения лабораторных и практических работ с применением пакета программ Synopsys® Sentaurus TCAD. Данный пакет программ предоставляет широкие возможности для моделирования технологических процессов создания полупроводниковых структур, а также проектирования устройств на их основе, расчета их физических характеристик и обработки результатов моделирования. Это позволяет глубже изучить теоретический материал и выработать практические навыки моделирования основных характеристик приборов микроэлектроники.

Предназначено для подготовки магистров по образовательным программам «Физическая электроника» и «Радиофотоника» по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника»; может быть полезно аспирантам и научным работникам, специализирующимся в области компьютерного моделирования.

ISBN 978-5-7629-2684-3

УДК 621.382.323.001.57(07)

ББК З 973.23-018.2я7