Контакты в структурах полупроводниковой микроэлектроники

Кондрашов А. В., Михайлов Н. И., Перепеловский В. В.

Изложены основные методы определения свойств материалов микро- и наноэлектроники путем построения и анализа их энергетических диаграмм. Показаны основные соотношения, описывающие физические явления, возникающие на границе раздела материалов. Приведены данные, необходимые для развития у студентов навыков анализа различных полупроводниковых структур и приборов на основе рассмотрения их энергетических диаграмм. В каждом разделе приведен набор задач, предназначенных как для более глубокого усвоения материала (задачи с решениями), так и выработки практических навыков их самостоятельного решения.

Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 — «Электроника и наноэлектроника» по профилю 11.03.04-01 — «Физическая электроника» в рамках курса «Микро- и наноэлектроника».