Наши издания
Технология материалов микроэлектроникиД. Д. Авров, О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Технология материалов и элементов электронной техники». |
ISBN 978-5-7629-2608-9 УДК 621.3.049.76.002.3(07) ББК З 844.1-03я7 |