Физико-химические фазовые взаимодействия в технологических процессах

О. А. Александрова, А. И. Максимов, Е. В. Мараева, Е. Н. Муратова, С. С. Налимова, В. А. Никонова

Рассмотрены основные физико-химические аспекты технологии материалов полупроводниковой электроники, уделено внимание формированию и описанию растворов, а также их распаду, приведены основы теории диффузии и теории адсорбции. Детально изложены некоторые разделы термодинамики растворов и фазовых равновесий, которые служат основами технологии получения материалов и структур электронной техники. Представлены некоторые лабораторно-практические задачи, решение которых облегчает понимание протекающих процессов.

Предназначено для проведения занятий по дисциплине: «Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники» для студентов, обучающихся по направлениям 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», а также для магистрантов, аспирантов и научных сотрудников, работающих в области твердотельной электроники.