Процессы микро- и нанотехнологий

В. В. Витько, А. Г. Гагарин, И. Л. Мыльников, А. П. Буровихин, А. В. Еськов, П. Ю. Белявский, А. В. Тумаркин, А. А. Никитин, А. А. Семенов

Рассмотрены основные темы практических и лабораторных занятий по курсу «Процессы микро- и нанотехнологии». Приводятся основные теоретические модели, позволяющие описать физические явления, происходящие при изготовлении керамических мишеней, осаждении тонкопленочных покрытий, а также формировании топологий устройств. Дается краткое описание физических моделей корпускулярного взаимодействия с твердым телом и аналитического подхода к рассмотрению физических процессов, протекающих при осаждении и травлении пленок в результате ионно-плазменного распыления. Приведена методика расчета технологических режимов процесса осаждения и доращивания пленок, на основе которого составляются рекомендации для реальных технологических процессов. Содержатся необходимые справочные сведения и характеристики элементов для проведения расчетов.

Предназначено для подготовки магистров по образовательным программам «Физическая электроника» и «Радиофотоника» по направлению 210100 — «Электроника и микроэлектроника». Может быть полезно аспирантам и научным работникам, специализирующимся в области технологии создания устройств электроники и радиофотоники.